高解像かつ高生産でありながら環境負荷低減を実現 UV-LED光源を初めて搭載したFPD露光装置「FX-88SL」、「FX-88SLD」を受注開始 ＊イメージ画像は添付の関連資料を参照 株式会社ニコンは、FPD露光装置として初めてUV-LED（紫外線LED）光源を採用し（※1）、高解像 ...
株式会社ニコンは、FPD露光装置として初めてUV-LED（紫外線LED）光源を採用し ※1 、高解像かつ高生産でありながら環境負荷低減を実現した、第8世代プレートサイズ（2,290 mm × 2,620 mm）対応のFPD露光装置「FX-88SL」、「FX-88SLD」 ※2 の受注を2025年11月から開始し ...
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