Applied Materials(AMAT)は10月30日(米国時間)、次世代の超高精細(UHD)テレビや携帯機器などで求められる、高い画素密度のスクリーンを可能にする新しいPVDおよびプラズマCVD技術を発表した。 この技術の核となるのは、新しい酸化物半導体および低温ポリシリコン ...

H&Iグローバルリサーチ株式会社（本社：東京都中央区）は、この度、MarketsandMarketsが発行した「ダイヤモンドコーティング剤の世界市場予測（～2022年）：CVD、PVD、金属、セラミック、複合材料」産業調査資料の取扱・販売をMarketReport.jpサイト（取扱レポート ...

2つ目と3つ目は「Gas deflector」と「Enhanced CSD (Center Support Diffuser)」で、CVDのチャンバはガスがチャンバ上部から下部へ流れていくが、deflectorを経由することで、バッキングプレートとの間でガスを均一に拡散することが可能となり、基板全面にガスを吹き付けることが可能となる。

Extremely thin films of material are used to make everything from potato chip bags to solar cells, and vapor deposition processes are the common techniques used to make thin layers. Vapor deposition ...

***** MarketReport.jp「蒸着装置の世界市場：化学蒸着（CVD）装置、物理蒸着（PVD）装置」調査レポートを取扱開始 ***** H&I株式会社グローバルリサーチ事業部（本社：東京都江東区）は、この度、MarketsandMarketsが発行した「蒸着装置の世界市場：化学蒸着（CVD ...

Abstract: Alternate metallization schemes for copper interconnect using selective CVD Co capping at the 22nm technology node are investigated. Control splits fabricated with PVD Ta(N) barrier/liner ...